仪器内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储。硬件由基于Windows操作环境的keithley交互式测试环境（KITE）来控制，驱动软件包括自动/手动探针台。根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能。测试范围：中小规模半导体器件。
　　实验室地点：平台楼110室
　　负责人：文林
　　电　话： 0991-3666785
　　E-mail：wenlin@sina.com